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氣相沉積爐的優勢有哪些
發布時間:2022-09-29   瀏覽:2509次

  氣相沉積爐的優勢有哪些

  氣相沉積爐為沉積爐主體內有加熱室,水冷電極,測溫熱電偶,是處理工件的核心部分。下面是關于爐子優勢介紹。

  電阻爐可采用多溫區獨立控溫,溫度均勻性好;

氣相沉積爐(CVI-CVD沉積爐)

  氣相沉積爐采用智能壓力調控,壓力波動小;

  全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

  多通道工藝氣路,流程均勻,無沉積死角,沉積效果好;

  多級尾氣處理系統,環境友好,能很快收集焦油及副產物,易清理;

  氣相沉積爐可選配外循環快冷系統,降溫時間短,生產效率高。

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