真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備，它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，洛陽八佳科技小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施. 　　一. 冷卻水異常 　　1、確認(rèn)加熱電源已停止。 　　2、爐外發(fā)生漏水，冷卻水量異常時(shí)，應(yīng)盡快采取應(yīng)急措施，如能保證水量，請(qǐng)繼續(xù)保持真空，如不能采取應(yīng)急措施，保持原狀，確認(rèn)設(shè)備冷卻下來。 　　3、冷卻水發(fā)生異常時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，馬上接通緊急用冷卻水。 　　4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時(shí)，如果冷卻水停止了，如果不能緊急送水，水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。 　　二 壓縮空氣的停止 　　1、壓縮空氣異常報(bào)警時(shí)，設(shè)備處于停止?fàn)顟B(tài)，應(yīng)盡快到備用的壓縮機(jī)房，讓其恢復(fù)工作。 　　2、真空中如壓縮空氣異常報(bào)警，且恢復(fù)需要較長時(shí)間時(shí)，則終止真空，讓設(shè)備停下來。 　　三 停電 　　1、停電時(shí)，如果斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。 　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長時(shí)間，則將設(shè)備保持原狀。 　　3、如果正在加熱和冷卻時(shí)，能夠盡快恢復(fù)時(shí)，重新啟動(dòng)設(shè)備，如果需要較長時(shí)間時(shí)，則保持原狀，讓設(shè)備自然冷卻下來。 　　四 加熱電源掉電 　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報(bào)警。 　　2、接地故障。 　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。 　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。 　　五 充氣氣體(氬氣或氮?dú)?停止 　　1、抽真空開始前，氣體充入時(shí)間長或者無法充入時(shí)，請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。 　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。 　　3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí)，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。 　　4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會(huì)影響制品質(zhì)量。 　　六 真空室壓力惡化 　　1、真空排氣時(shí)間比通常長時(shí)，應(yīng)把設(shè)備停下來進(jìn)行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。 　　2、通過壓力上升測試或者用氦氣檢漏來確認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。 　　在真空和保護(hù)性氣氛中，對(duì)金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得一定密度和具有一定機(jī)械性能的材料時(shí)，一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和保護(hù)性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀態(tài)時(shí)，加壓成型。這種工藝需要一種真空熱壓燒結(jié)才能實(shí)現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點(diǎn)。目前這種爐型在我國還未見定型產(chǎn)品。

　　采用和購置真空燒結(jié)爐的廠家都了解，按設(shè)備是在真空環(huán)境中對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子。其加熱方式比較多，電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。 　　真空燒結(jié)爐可快速升溫工藝要求;溫控切換器使用進(jìn)口多段智能程序攝氏度操控儀操控，攝氏度操控切換器的穩(wěn)定性、重復(fù)性十分可靠;變頻無級(jí)調(diào)速，不銹鋼網(wǎng)帶傳送，全新的外觀設(shè)計(jì)理念，確保了產(chǎn)品平穩(wěn)輸送。 　　利用中頻感應(yīng)加熱的原理，真空燒結(jié)爐使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝產(chǎn)生高溫，通過熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對(duì)難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。 　　同時(shí)，在安裝時(shí)，按真空爐回充氣體系統(tǒng)圖將管路接至回充管路上，并建議提供純度為高純度氮?dú)庾鳛榛爻錃怏w。按水冷系統(tǒng)圖，將進(jìn)水管與排水管分別接到爐子的進(jìn)、排水口上，提供壓力為0.1-0.15MPa，溫度不低于15℃，不高于30℃的水源，*提供循環(huán)水、防銹水。真空爐爐體和控制箱均接地，接地電阻≤4歐，儀表和真空計(jì)的規(guī)管電纜也應(yīng)接地。按電氣接線圖把電源接到相應(yīng)的電接點(diǎn)上，校核電源電壓，連接控制箱，動(dòng)力箱和爐體間的電線電纜。