氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過(guò)濾系統(tǒng)、操作平臺(tái)等部分組成組成。 　　氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成，爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，分爐體和爐頂蓋、爐底三部分，主要使用Q235鋼材，爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu)，夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板，既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力，爐體上設(shè)置電極座、測(cè)溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。 　　加熱及保溫層，發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體，分三個(gè)加熱區(qū)，三角形加熱，分布在爐腔四周;保溫層：采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu)，既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能，成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上，操作與維護(hù)非常方便。 　　氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼，為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度，采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空，并設(shè)置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥?？紤]真空放電現(xiàn)象，采用低電壓大電流的供電方式。

　　大多數(shù)的真空燒結(jié)爐操作者都知道，該設(shè)備雖然操作簡(jiǎn)單安全，但如果沒(méi)有嚴(yán)格按照使用規(guī)章制度使用就會(huì)有產(chǎn)生安全隱患。因此在使用時(shí)，一定要認(rèn)真對(duì)待注意事項(xiàng)，確保生產(chǎn)安全。 　　真空燒結(jié)爐使用過(guò)度，會(huì)發(fā)脆不能接觸。因此有損壞時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。真空燒結(jié)爐循環(huán)水的保暖問(wèn)題，在冬天要尤為注意，以防水管爆裂。 　　爐體在使用后應(yīng)保持真空，如此可以保證真空燒結(jié)爐下次抽真空速度會(huì)快些。因設(shè)備較復(fù)雜，建議新手使用時(shí)要嚴(yán)格實(shí)行用前培訓(xùn)，用后檢查，操作使用要記錄等規(guī)定。 　　有些高溫?zé)崽幚頎t也可當(dāng)作真空燒結(jié)爐使用，用于燒結(jié)爐時(shí)要注意，爐內(nèi)放置坩堝后，在蓋上保溫屏蓋時(shí)，不要忘記蓋其中間的小蓋，以免燒損電爐。